應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用領(lǐng)域
SIC半導(dǎo)體
用于半導(dǎo)體行業(yè)的特種石墨
我們的材料適用于多種類型的晶體生長爐。也提供用于硅外延和MOCVD的基座。我們通過機(jī)械加工等工藝對石墨部件進(jìn)行表面處理，以滿足特定應(yīng)用的需求。全面的質(zhì)量控制確保我們的客戶獲得高質(zhì)量，可追溯的產(chǎn)品。
晶體生長
晶體生長對于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用的石墨部件，高純度是其關(guān)鍵要求。雜質(zhì)含量應(yīng)保持在百萬分之五之下。在真空環(huán)境下，真空室內(nèi)有主石墨加熱器，主石墨電極，石墨坩堝，石墨隔熱碳等。
● 加熱器
● 坩堝
● 石墨保溫筒
● 石墨電極
適用于外延生長工藝和材料
在制成電子器件需要經(jīng)過幾個步驟。其中重要的工藝是硅外延?；男阅芎唾|(zhì)量是對晶片外延層的質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用。
我們所有的基座是有高強(qiáng)的等靜壓石墨制品。全面的質(zhì)量控制確保我們的客戶始終獲得高質(zhì)量完全可追溯的產(chǎn)品。我們不斷創(chuàng)新。突破技術(shù)壁壘，不斷優(yōu)化制定真正價值的切實解決方案。
● 精度±0.003
● 純度1PPM以下
● 碳化硅圖層
制造半導(dǎo)體器件
石墨還可以用于制造半導(dǎo)體器件，如二極管、晶體管和集成電路等。石墨具有高導(dǎo)電性和高導(dǎo)熱性，可以作為半導(dǎo)體器件的基板材料。此外，石墨還可以用于制造電極和散熱器等部件。
